論文タイトル
Prospects for β-Ga2O3: now and into the future (レビュー論文)
発行日
近日公開予定(受理版は先行公開中)
概要
本レビュー論文では、パワーデバイス材料としての酸化ガリウムについて、バルク結晶成長からエピタキシャル成長、欠陥評価、デバイスの研究の進展を、筆者の研究経験に基づき解説します。ここ10年ほどの間に、エピウエハのサイズは4–6インチに拡大され、数kV耐圧でアンペアクラスの動作が可能なショットキーバリアダイオードや電界効果トランジスタが実証されてきました。一方、エピウエハのコストや、キラー欠陥、エピタキシャル層の純度など、酸化ガリウムパワーデバイスの実用化への課題も顕在化しています。本稿では、論文だけでなく特許や学会発表も含めて開発の歴史を包括的にまとめ、この材料の今後の発展の展望について私見を述べます。
リンク
https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1882-0786/ad6b73