第83回応用物理学会秋季学術講演会に参加します。

ノベルクリスタルテクノロジーは、2022年9月20日（火）～23日（金）に開催される第83回応用物理学会秋季学術講演会にて開発成果を発表します。

【場所】東北大学　川内北キャンパス　＋　オンライン

■2022年9月20日（火）
【分科名】合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
【会場】B203会場
【講演】口頭
【時間】14:15～　タイトル:【注目講演】「酸化ガリウム100 mmエピウエハの結晶品質改善」

【分科名】結晶工学, バルク結晶成長
【会場】C206会場
【講演】口頭
【時間】15:15～　タイトル:「垂直ブリッジマン法による2インチFeドープβ‐Ga₂O₃(010)基板の作製」

■2022年9月21日（水）
【分科名】シンポジウムワイドバンドギャップ半導体MOS界面科学の最前線
【会場】M206会場
【講演】口頭
【時間】16:50～　タイトル:「1 kV耐圧窒素、シリコン、ダブルイオン注入β-Ga₂O₃ MOSトランジスタ」

■2022年9月22日（木）
【分科名】　化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価
【会場】B204会場
【講演】口頭
【時間】17:30～　タイトル：「2.4 Aノーマリーオフβ-Ga₂O₃ 縦型multi-fin FET」

■2022年9月23日（金）
【分科名】合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
【会場】P06会場
【講演】ポスター
【時間】9:30～11:30 タイトル：「ガリウムサブオキサイドを用いた高純度β-Ga₂O₃のエピタキシャル成長」